Gigaphoton ricicla il neon usato nei laser ArF
Gigaphoton ha esteso ai laser ArF il proprio sistema di riciclo del neon, dichiarando un tasso di recupero del 50%. La soluzione hTGM per ArF consente di riutilizzare parte del gas impiegato nei processi produttivi, con l’obiettivo di rendere più sicure le forniture.